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光学检查机29xx series 用于电子工业带图案晶圆高解析度

规格型号：29xx series ，公司品牌：KLA - TENCOR。 ... 2930 and 2935: 宽光谱等离子体晶圆缺陷检测仪，针对10nm及以下的逻辑和高级内存器件提供影响良率的关键缺陷的 ...

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