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德国kla-tencor晶圆缺陷检测器Puma 9980_工业机器

2930系列宽带等离子体缺陷检测系统在光学缺陷检测方面取得了进步，可以在**IC器件上发现良率关键缺陷。2930和2935宽带等离子体缺陷检测仪采用增强型宽带等离子照明 ...

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