步進機. 晶圓移動. 方向. 晶圓. 中心軌道機器. 18. 經透鏡的繞射光. 由透鏡收集的繞 ... K. R λ1. = 20. 改善解析度. ▫ 增加NA. ▫ 更大的透鏡, 可能太貴或是不實際.
確定! 回上一頁