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無塵室技術及計算流體力學之應用 - CTCI

無塵室的無塵（潔淨）等級之定義標準有ISO-14644、美國聯邦209E、日本的JIS B9920、德國的VDI 2083、俄國的Gost-R 50766，一般最常用的標準是美國聯邦209E，其空氣懸浮 ...

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