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InP中所選元素的SIMS檢測限制EAG實驗室

該表提供了InP基質中雜質的典型檢測限的列表。 這些檢測水平適用於毯式晶片的正常深度剖析條件。 設備樣本的檢測級別取決於可用分析區域的大小。

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