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InP Etch Rate and Selectivity (InP/SiO2) - UCSB Nanofab Wiki

Date, Sample#, InP Etch Rate (um/min), Selectivity (InP/SiO2), Profile SEM Picture. 10/4/2016, InP#1613, 0.92, 8.9, [1]. 12/1/2016, InP#1614, 0.96, 12.1 ...

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