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前瞻聚焦離子束系統/Advanced Focused Ion Beam System
聚焦離子束系統(focus ion beam,FIB)是廿世紀新開發的指標性儀器之一,兼聚臨場橫截面與平面分析,定點TEM試片製作,微奈米圖案與元件製作等重要功能於一機。
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