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行政院國家科學委員會專題研究計畫成果報告- 以高分子作為 ...

中文摘要： 本計畫根據單晶矽微加工技術之特點，提出以感應耦合電漿. 離子蝕刻（Inductively Coupled Plasma Reactive Ion. Etching , ICP-RIE）之體型微加工製程技術，以 ...

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