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功能性奈米結構陣列製作技術之研究

... ICP-RIE)、電子迴旋共振式反應性離子蝕刻(Electron cyclotron resonance reactive ion etching, ECR-RIE)高成本之特殊設備與製程，才能製作高深寬比之矽質奈米結構 ...

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