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層層Delayer SEM 卻仍找不到異常點靠它解 - TechNews 科技新報

已知IC 有異常狀況，層層Delayer 後，藉由SEM 分析，卻什麼異常都看不到？ ... 有熱點異常（Hot Spot），卻在實際利用SEM 檢測時，卻找不到到底異常 ...

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