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真空HMDS 蒸鍍爐

塗佈HMDS：於單片或是一整盒的試片上塗佈HMDS. 2. 真空烘烤：可提供一中低真空之環境做晶片的加熱烘烤. 規格. 1. 最多擺放容量：8 盒Cassette（即200 片Wafer）.

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