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高密度活性離子蝕刻系統(High Density Plasma Reactive Ion ...

高密度活性離子蝕刻系統(High Density Plasma Reactive Ion Etching System, HDP-RIE) · 1.請詳細說明基底晶片材質，其上含何種物質(如SiO2、光阻等)以及是否要清洗晶片。

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