近幾年氮化鎵(Gallium Nitride, GaN)材料的研究及其應用範圍正快速的成長, ... 論文名稱(中文):, 不同感應耦合電漿離子蝕刻條件對於控制沉積在藍寶石基板的氮化鎵準 ...
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