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小型台式无掩膜光刻机- MicroWriter ML3 - Quantum Design

小栅格精度, 200nm, 200nm ; 样品台小步长, 100nm, 100nm ; 光学轮廓Z分辨率, 无(可升级), 300nm ; 样品表面自动对焦, 是, 是 ; 灰度直写(255级), 是, 是 ...

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