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在深井，沉積出如液體般的薄膜

首先是「流動式」化學氣相沉積系統，原文是Flowable CVD，宣稱能「用電流隔絕」記憶體及邏輯晶片設計中「20奈米」及以下製程的淺溝電晶體，具高品質的 ...

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