表四各種CVD 製程的優缺點比較及其應用3-4-4 大氣壓化學氣相沈積系統APCVD 是在近於 ... 流動式化學氣相沉積系統(Flowable CVD),能運用電流隔絕記憶體及邏輯晶片設計 ...
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