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장비기업들 20나노급 이하 대응장비 속속 선보인다 - 전자신문

... 증착장비 `이터나(Eterna) FCVD(Flowable Chemical Vapor Deposition)`를 ... “20나노급 D램을 생산하기 위해서는 EUV리소그라피 뿐만 아니라 CVD ...

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