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FLEX系列產品- Lam Research

介電層蝕刻是用來雕刻半導體元件中絕緣材料的圖案，以在元件的導電部位之間建立阻障(barrier)。在先進的電子元件中，這些結構通常極高且窄，並會包含複雜、敏感的材料 ...

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