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高性能鍺積體電路元件之閘極與通道工程

據文獻報導，SiGe超晶格(SL)通道可以增強MOSFET中的載子遷移率，因此本研究探討具有SiGe和類似SiGe SL通道的鰭式場效電晶體(FinFET)電特性，研究結果顯示，SL結構增強 ...

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