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FOSB - 技術用語集 - 東京精密

Front Opening Shipping Boxの略。ウェーハ搬送、発送用のキャリア。 本来装置で使用する目的の物ではなく、ウェーハ固定の為の抑えバネがFOUPよりも強いのが一般的。

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