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FDS型| EBARA CORPORATION

FDS 型是乾式廢氣處理設備，無需排水處理，可高效且安全地處理PFCs氣體。可高效處理99.9%以上的PFCs氣體，乾式固定分解後的氟系氣體，不產生排水，無需處理有毒排水。

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