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半導體解密：ASML光刻機憑什麼能一廠獨大？台積電總能買到 ...

（ASML EUV 光刻機TWINSCAN NXE3400B，來源：ASML 官網） ... 曝光機（英語：stepper）或掃描式曝光機（英語：scanner），獲得比模板更小的曝光圖樣。

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