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EUV lithography
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極紫外光EUV微影是什麼?影片直擊台積電拚5奈米的關鍵技術 ...
ASML指出,在半導體製程中微影(Lithography)是驅使晶片效能更高、成本更低的關鍵技術。早期晶片可以容納數千個微米大小的電晶體(Transistor), ...
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