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同样是造7纳米芯片,为什么EUV光刻机比DUV光 ... - CSDN博客
为什么同样制造7nm芯片,EUV光刻机却这么贵?这恐怕得从制造原理上说起,DUV其实就是指193nm波长的光刻机,分干式和液浸式。基本 ...
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