目前最新的EUV 光刻机NXE:3400C 每小时可处理吞吐的晶圆WPH(Wafer Per Hour)已将到170 片,主要用于7nm 和5nm 制程; 相较于NXE:3400B 每小时处理晶圆片 ...
確定! 回上一頁