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EUV 5nm
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三星:5nm EUV工艺的挑战:良率低| Tokio X'press
根据INFOSTOCK日报:. 5nm EUV工艺的成品率尚未达到50%。 我们正在竭尽全力提高产量。 但是,他说并没有重大进展。
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