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EUV 5nm
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ASML的尖端EUV光刻技术将晶体管缩小至5 nm - Litho wiki
经过近三十年的发展,半导体芯片制造商现在可以使用新一代ASML的集成电路制造工具。新的生产线采用了最先进的极紫外(EUV)光刻工艺,该工艺使用波长 ...
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