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數位氣體質量流量控制器

不同氣體種類可控制的流量範圍不同。詳情請參考「P.5不同氣體種類之流量控制範圍」. 注4:EPDM橡膠墊片規格不得使用下述以外之氣體, 因為有可能毀損密封功能。

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