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具不同金屬疊層結構的奈米線寬鋁導線之電性和可靠度研究

鋁 ； 奈米金屬線 ； 可靠度 ； 電致遷移 ； 竹節狀 ； Al ； Aluminum ... structure and hence expected to have an enhancing electromigration (EM) performance.

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