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Dry Pump(干式真空泵）的原理和优点-海门鑫华真空设备厂

Dry pump 用在chamber由大气压下直接抽真空，可以维持进出口压差105倍。 Dry pump有电源（电源使马达带动螺杆式转子转动)。 N2 purge(稀释防止particle沉积在间隙内），而且 ...

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