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半導體＆ ETCH 知識，你能答對幾個？ - 吳俊逸的數位歷程檔

答：Bulk Gas 為大氣中普遍存在之製程氣體, 如N2, O2, Ar 等. ... 為何需要注意dry pump exhaust presure (pump 出口端的氣壓)?.

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