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【光刻】聚焦深度Depth of Focus (DOF) - 芯制造 ...

焦点周围的一个范围，在这个范围内图像连续地保持信息，这个范围被称作聚焦深度(DOF:Depth of Focus)或焦深[1]，它相当于照相机的景深[2]。

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