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化學氣相沉積法(Chemical Vapor Deposition) - 科學Online

例如像是在半導體產業上，我們將晶圓作為基底，暴露在不同的蒸氣下，可以得到矽、二氧化矽、氮化矽(Si3N4)，甚至是一些金屬的薄膜沉積。

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