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DUV光刻機
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光刻机镜头能否迎来新入局者? - 中国经济网
这意味着,如今订购一台新型DUV光刻机(同时可用于成熟和先进制程),交付时间至少需要等待两年以上。 在这其中,最关键的零部件正是有着“光刻机之眼”之称 ...
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