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DUV光刻機
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https://www.bbc.com/zhongwen/trad/world-64450379
日本荷蘭限制對華晶片技術出口,光刻機巨頭進一步面臨兩難
作為製造半導體晶片的關鍵設備,光刻機一般分為三種,即最早的UV(紫外線光刻機),和後來的DUV(深紫外線光刻機)以及EUV(極紫外線光刻機),其中EUV用 ...
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