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DUV光刻機
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中国首台DUV光刻机完成认证,这场“闹剧”快结束了!
28nm光刻机是深紫光刻机,也就是DUV光刻机,不仅能实现28nm、14nm工艺芯片的量产,同时还可以通过多次曝光的方式,实现非EUV 7nm工艺芯片的生产,这也意味 ...
確定!
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「DUV光刻機」
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