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DUV光刻機
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華為突圍秀EUV光刻技術| 陸港經貿| 兩岸| 聯合新聞網
EUV光刻機採用10-14奈米極紫外光做光源的光刻技術設備,是目前市場上技術水平最高的光刻機產品。但由於美國禁令,大陸廠商僅能購買DUV光刻機,但無法取得 ...
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