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光刻機分DUV，EUV的，是什麼意思？ - 劇多

常見光源分為:可見光：g線：436nm紫外光（UV），i線：365nm深紫外光（DUV）,KrF 準分子鐳射：248 nm, ArF 準分子鐳射：193 nm極紫外光（EUV），10 ...

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