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極紫外光微影之高階材料檢測分析 - 材料世界網

EUV 光罩反射層之規格與製作困難度與傳統DUV微影光罩相差甚遠。對於波長13.5奈米的反射面而言，只要有相當於1/4波長3.375奈米的平坦度差別即會造成破壞 ...

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