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同樣能造出7nm晶片，EUV光刻機對比DUV光刻機 - 壹讀

DUV 光刻機光源為準分子雷射，而EUV光刻機則是雷射激發等離子來發射EUV光子。通過不同方式，二者發出的光源也不同。其中，DUV光刻機的波長能達到193納米， ...

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