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DUV, EUV
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烏凌翔:中國要多久才能掙脫被掐住的「光刻機脖子」
如此看來,不論DUV或EUV,中國要在15年內獨立發展出「國產」光刻機,真不太容易,因為人家也不是站在那兒等你來追。林毅夫說3年,有些誇張。
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