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[2019/6/25] EUV能解決DRAM 1znm瑕疵嗎？

DRAM提前進入EUV時代. 極紫外光(EUV)是基於深紫外光(DUV)升級的最新一代光刻機設備。隨著半導體製程微縮走向極限，EUV光刻機設備成為焦點。

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