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DUV和EUV光刻机的区别在哪？ - 深圳响拇指电子科技有限公司

DUV ：深紫外光刻（Deep Ultraviolet Lithography）. EUV：极深紫外光刻（Extreme Ultraviolet Lithography）. 一、DUV技术由日本和荷兰独立发展：.

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