你即將離開本站

並前往http://www.ime.cas.cn/icac/learning/learning_2/202112/t20211221_6324996.html

DUV和EUV光刻机的区别在哪？ - 中国科学院微电子研究所

DUV 已经能满足绝大多数需求：覆盖7nm及以上制程需求。DUV和EUV最大的区别在光源方案。EUV的光源波长为13.5nm，但最先进DUV的光源波只有193nm，较长 ...

確定！ 回上一頁

查詢 「DUV, EUV」的人也找了：

  1. duv是什麼
    2.
  2. euv光刻機原理
    3.
  3. duv製程
    4.
  4. euv原理
    5.
  5. EUV
    6.
  6. euv是什麼
    7.
  7. duv光源
    8.
  8. duv全名
    9.