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極紫外光微影—延續摩爾定律的重要技術 - 核能研究所

目前，領先的積體電路製造商所採用的光學投影式微影技術(OPL)，使用DUV波段的曝光 ... 低能量X光投影式微影技術(Soft X-ray，使用波段基本上等同於現今的EUV)，但因為 ...

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