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DUV, EUV
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美国要下死手,不仅EUV,连DUV光刻机都不能卖给大陆? - 网易
众所周知,目前主流的光刻机分为两种,一种是EUV,一种是DUV。EUV光刻机是指采用波长为13.5nm的极紫外线的光刻机,主要用于生产7nm及以下的芯片, ...
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