1.發光波長. DUV:185nm及254nm. EUV:172nm · 2.搬送型式:RobotorConveyor · 3.清洗效果:水接觸角≦5∘ · 4.UV強度均勻度:≧90% · 5.潔淨度:Class10.
確定! 回上一頁