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DUV, EUV
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荷蘭夏季前頒布半導體設備出口新規定影響ASML部分DUV設備
荷蘭先前已經禁止極紫外光(EUV) 曝光微影系統出口中國,相較於EUV,DUV 雖然應用在較成熟的製程,仍是生產汽車、手機、電腦和機器人晶片最常用的設備 ...
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