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新一代製程的關鍵：13.5奈米的「極端」紫外光

因此，半導體界決定一口氣從波長193奈米的「深度紫外光(Deep UV, DUV)」跳到10奈米左右的「極端紫外光(Extreme UV, EUV)」。EUV光有兩種常見的產生 ...

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