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光刻的微妙，EUV、DUV光刻機及其他g-line和i-line ... - YouTube

... 簡稱「刻蝕(Litho-etch) 」，光刻的兩大類技術， DUV 和 EUV 。再解释多次圖案化，做出比光刻机最大分析度更小的h.p. ，達至 EUV 的3-2nm制程。可重...

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